日本进口，好利旺ORION真空泵的拆修，不是换配件就能行

好利旺ORION干式无油真空泵KRX3-SS-4001-G1，是石墨旋片（碳片）式真空泵，广泛用于无尘室的曝光机、晒网机等需要抽取真空的设备上。其优点就是无需加油，无污染物排出，特别适用于对环境要求较高的无尘车间。性能稳定，运行时间长，碳片可连续使用6000+小时。
此真空泵是从晒网机上面拆下来的，电机好的，泵头卡住了，转不动了，要拆开检修。
1，拆掉泵底座两个螺丝，取下泵头。

2，拆掉真空箱上面两个六角螺丝，取下真空箱。发现垫片上面还有油墨混合液体，这是烤网版的时候网版没有干，吸进水汽进去了。这应该是导致泵头卡死的原因。

3，拆掉风罩上面的三个螺丝，取下风罩。取下垫片。

4，拧松连轴器的顶丝和风叶的顶丝，分别取出连轴器和风叶。

5，拆掉风叶端轴承盖的三个螺丝，取出轴承盖，注意垫片，不要弄烂了。

6，拆除风叶端端盖的三个螺丝，用拉马取出端盖。注意端盖的侧面不要搞花了。
7，拆除另一端的端盖螺丝，小心取出碳片。顶出转子。

8，用砂纸打磨转子，清洁转子、端盖侧面的锈和油渍污垢，最后用电子清洗剂洗干净。卡死就是因为泵里面有污垢，轴承还不是很大问题。

9，清除碳片上面的胶状物、油墨结垢，用电子清洗剂洗干净。
10，按刚才拆的顺序，逆序的安装好。注意轴承一定要打到位，不然轴承盖一装就卡死。所有密合部位不能有刮伤，否则会卡死或真空不达标。泵与电机两连轴器要上下左右平齐，之间间隙1mm左右。真空箱过滤器视情况，有需要侧更换。